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ENG I工一 108 F6F7F8
In this "Design and manufacture of miniaturized systems" course, approaches that are commonly used in nano- and micro-scale fabrication processes will be introduced. Some state-of-the-art fabrication technologies for miniaturized systems will be discussed in the class as well.
Course keywords: 奈米,微米,製程,設計,微小化,nano, micro, fabrication, design, miniaturized 【重要通知】此門課從開學第一周的課程開始,即為 "線上同步遠距教學", 開學前會以email通知有選課的同學,讓同學們加入線上課程群組。 若為開學後加選的同學,請以email聯繫我(mflai@mx.nthu.edu.tw), 我再幫加選的同學加入課程群組。 科目名稱: 微小尺度系統設計與製作技術 (Design and manufacture of miniaturized systems) 課程進度: 課程介紹及同步教學設定確認 真空科技原理與簡介 真空系統介紹(I) 真空系統介紹(II) 鍍膜原理與簡介 鍍膜系統介紹(I) 鍍膜系統介紹(II) 蝕刻技術 期中口頭報告 元件表面處理與摻雜 微影技術在微小尺度系統製作的應用 高深寬比微小尺度系統的設計與製作 奈米尺度自組裝系統 微尺度元件平坦化技術 微尺度元件接合技術 微尺度製程之汙染源及潔淨度介紹 元件實例介紹: 微小尺度系統設計與製作 期末口頭報告 參考資料: (1)教科書: Gatzen, Hans H., Saile, Volker, Leuthold, Jurg, “Micro and Nano Fabrication-Tools and Processes,” Springer (2015). (2)Related resources on the internet 成績考核: First oral report 30% Second oral report 35% Attendance and participation (including quizzes) 25% Homework 10%
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08:00108:50 | |||||
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10:10311:00 | |||||
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12:10n13:00 | |||||
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Average Percentage 83.53
Std. Deviation 5.62
動機系精密機械與智慧製造學程選修,同步遠距教學
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